|
ㄧ、藍寶石長晶爐 (Omega Grower for Sapphire)
本長晶爐使用Kyropoulos method(KY法、泡生法、凱式法)生長藍寶石單晶
二、蘭克賽長晶爐 (Kristall 3M Langasite Grower)
此長晶爐使用Czochralski method(CZ法、提拉法)生長蘭克賽晶體
三、水熱法長晶爐 ( 24-Liter Hydrothermal Vessel) 主要使用水熱法(Hydrothermal)生長石英水晶
四、微波電漿化學氣相沉積設備 (MPCVD,ERL2000 ) 利用微波電漿化學 氣相沉積法生長鑽石薄膜技術
|